你知道碳化硅結晶結構是什么嗎？
本站 2022-03-26
碳化硅結晶結構是一種典型的共價鍵結合的化合物，自然界幾乎不存在。碳化硅晶格的基本結構單元是相互穿插的SiC4和CSi4四面體。四面體共邊形成平面層，并以頂點與下一疊層四面體相連形成三維結構。SiC具有α和β兩種晶型。β－SiC的晶體結構為立方晶系，Si和C分別組成面心立方晶格；α－SiC存在著4H、15R和6H等100余種多型體，其中，6H多型體為工業應用上最為普遍的一種。α-SiC是高溫穩定型,β-SiC是低溫穩定型。β-SiC在2100～2400℃可轉變為α-SiC,β-SiC可在1450℃左右溫度下由簡單的硅和碳混合物制得。在溫度低于1600℃時，SiC以β－SiC形式存在。當高于1600℃時，β－SiC緩慢轉變成α－SiC的各種多型體。4H－SiC在2000℃左右容易生成；15R和6H多型體均需在2100℃以上的高溫才易生成；對于6H－SiC，即使溫度超過2200℃，也是非常穩定的。
上一篇：碳化硅作為半導體材料的特點
